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Sorger 2023 IEEE Silicon Photonics Conference (SiPhotonics)1 April 202310.1109/SiPhotonics55903.2023.101419632 VoR endstream endobj 3 0 obj << /RoleMap 8 0 R /Type /StructTreeRoot /K [9 0 R] /ParentTree 10 0 R /ParentTreeNextKey 2 >> endobj 4 0 obj << /Name (Headers/Footers) /Usage << /PageElement << /Subtype /HF >> >> /Type /OCG >> endobj 5 0 obj << /Kids [11 0 R 12 0 R] /Type /Pages /Count 2 /ITXT (2.1.7) >> endobj 6 0 obj << /DisplayDocTitle true >> endobj 8 0 obj << /Annotation /Sect /Chartsheet /Part /Footer /Sect /Header /Sect /Textbox /Sect /Macrosheet /Part /Artifact /Sect /Dialogsheet /Part /Workbook /Document /Endnote /Note /Diagram /Figure /Footnote /Note /Slide /Part /Chart /Sect /Worksheet /Part /InlineShape /Sect >> endobj 9 0 obj << /P 3 0 R /S /Document /Type /StructElem /K [13 0 R 14 0 R 15 0 R 16 0 R 17 0 R 18 0 R 19 0 R 20 0 R 21 0 R 22 0 R 23 0 R 24 0 R 25 0 R 26 0 R 27 0 R 28 0 R 29 0 R 30 0 R 31 0 R 32 0 R 33 0 R 34 0 R 35 0 R 36 0 R 37 0 R 38 0 R 39 0 R 40 0 R 41 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